六氟-1,3-丁二烯性质、用途与生产工艺 简介 六氟丁二烯又称全氟丁二烯,最初合成出来是作为聚合物的单体,但是其聚合物的性能不佳,没有得到进一步的研究和应用。近年对六氟丁二烯的应用研究则主要集中在它作为电子蚀刻气体上。 合成方法 八氟二溴(碘)丁烷法:八氟二溴丁烷或八氟二碘丁烷经丁基锂脱卤可直接得到六...
六氟-1,3-丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。 产品信息概括 产品信息概括 化学名称六氟-1,3-丁二烯 别名全氟丁二烯 CAS号685-63-2 ELINCS号211-681-0 ...
【六氟-1,3-丁二烯】化源网提供六氟-1,3-丁二烯CAS号685-63-2,六氟-1,3-丁二烯MSDS及其说明、性质、英文名、生产厂家、作用/用途、分子量、密度、沸点、熔点、结构式等。CAS号查询六氟-1,3-丁二烯上化源网,专业又轻松。
C4F6,亦称六氟-1,3-丁二烯、HFBD,其作刻蚀使用具有以下优异性能:C/F比高达67%,与C4F8、C5F8相比,使用C4F6可得到更高的刻蚀速率选择比;与C4F8相比,C4F6有更高的对光阻和氮化硅选择比。这两个刻蚀优点,可提高刻蚀的稳定性和生产效率,从而提高产品良率和可靠性,因为随着器件尺寸推进到0.13um,孔的CD(关键尺寸)要...
中文名称:六氟-1,3-丁二烯;C4F6;英文名称:Hexafluoro-1,3-butadiene CAS:685-63-2纯度规格:99% min 产品类别:电子气体 全氟丁二烯/C4F6 全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。
产品名称: 六氟-1,3-丁二烯气体 有效成分含量: 99% 是否进口: 否 物流: 汽运 物理状态: 气体 纯度: 按需求定制 状态: 气体 优点: 纯度高 起批量: 面议 储存要求: 阴凉通风处 包装材质: 钢瓶阀门 颜色: 无色 挥发性: 低挥发 六氟-1,3-丁二烯 双层真空 安全性高 高纯特种电子气...
英文名称:HEXAFLUORO-1,3-BUTADIENE CAS编号:685-63-2 别名:六氟-1,3-丁二烯/C4F6; 六氟丁二烯,全氟丁二烯; 六氟-1,3-丁二烯; 全氟丁二烯; 纯度:99% 分子式:C4F6 产地:湖北 品牌:国产 用途:工业大生产 六氟-1,3-丁二烯 中文名:六氟-1,3-丁二烯 ...
产品名称 六氟-1,3-丁二烯 产品规格 工业级 用途范围 有机合成中间体 是否进口 否 CAS号 685-63-2 分子式 C4F6 有效成分含量 99% 包装规格 25kg 外观 无色液体 产能 500T 设备 8 是否拆分 是 分子量 162.03 EINECS号 211-681-0 可售卖地 全国 中文名称:六氟-1,3-丁二烯中文同义词...
金宏气体取得六氟-1,3-丁二烯气体酸度分析方法专利，能有效评价原产品体系中的杂质含量、有效酸度及总酸度 金融界2024年3月25日消息，据国家知识产权局公告，金宏气体股份有限公司取得一项名为“一种六氟-1,3-丁二烯气体的酸度分析方法“，授权公告号CN113984949B，申请日期为2021年11月。专利摘要显示，本发明公开了...
新一代干法蚀刻气体六氟-1,3-丁二烯C4F6,可用于蚀刻二氧化硅和氮化硅此类介质材料,作为特种电子气体从属于电子工业体系。当前,电子工业已经成为支撑国民经济可持续发展和保障国家战略安全的核心工业体系。特种电子气体是整个电子工业体系的核心关键原材料之一,在国防军事、航空航天、新型太阳能电池、电子产品等方面有着极其...