摘要: 本发明提出五种第9衍射级次增强的相位光栅结构,该结构不仅具有较强的第9级衍射效率,同时所有偶衍射级次衍射效率均缺级,较好的解决了目前主要采用AH53中存在较强的零级以及其他偶衍射级次,并且第9衍射级次衍射效率低的问题,因此,本发明的相位光栅结构可以提高系统的测量精度....