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一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计专利信息由爱企查专利频道提供,一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计说明:本发明公开了一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计,包括上层平面腔硅微结构、中层半...专利查询请上爱企查
摘要 本发明公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法,所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块,四个对称分布的蟹脚型悬臂梁,连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜;敏感质量块的重心通过特别设计的微加工工艺可以确保位于悬臂梁的中心平面上,单轴...
专利名称 一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构 申请号 2015209956152 申请日期 2015-12-03 公布/公告号 CN205374509U 公布/公告日期 2016-07-06 发明人 卢乾波,白剑,娄树旗,焦旭芬,韩丹丹 专利申请人 浙江大学 专利代理人 郑海峰 专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 专利类...