光学发射光谱法(OES)是一种用于检测各种金属元素成分的分析技术,其应用广泛,备受信赖。 可使用OES技术进行检测的样品包括金属熔液、金属半成品和成品,以及金属加工业、管材、螺栓、棒材、线材、板材等等。 OES使用的电磁光谱包括可见光谱以及部分紫外光谱。波长范围为130nm到约800nm。 OES能够分析固体金属中从锂到铀的...
光学发射光谱oes光学发射光谱OES 光学发射光诸(OES)是一种用于检测各种金属元索成分的分析技术。它利用电磁光诺中的可见光诺和部分紫外光诺。通过测量固体金属中从锂到铀的各种元索的特征光诺,进行定性和定量分析。OES技术可以对金属熔液、金属半成品/成品、金属加工业、管材、螺栓、棒材、线材、板材等进行检测。其...
发射光谱仪均由三大部分构成:光源,可激发金属样品中的原子,使其发射特征光谱。 第二大部分就是光学系统。样品蒸发时发射的复合发射光谱被称为等离子体,会进入光谱仪。光谱仪内的衍射光栅会将进入的光谱根据波长色散开,然后通过对应的检测器测量各个波长的谱线强度。测量得出的谱线强度与样品中的元素浓度成正比。 第三...
半导体器件中的等离子蚀刻需要在整个反应过程中进行高精度监控，也称为终点检测，而且也极易受到污染。这些考虑意味着等离子蚀刻需要高精度的等离子分析。光学发射光谱法（通常跨越光谱的近红外到近紫外区域）为等离子蚀刻应用中的在线工艺控制提供了所需的稳定性、速度和分辨率。真空等离子系统还用于通过各种等离子驱动的化学...
海洋光学（Ocean Optics）长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持，同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪，基于光学发射光谱技术，被广泛应用于等离子体监测，并在刻蚀终点检测方面表现出色。实验配置：实验采用光学发射光谱（OES）方法，分别使用紫外波段的...
光学发射光谱法(OES)是一种用于检测各种金属元素成分的分析技术,其应用广泛,备受信赖。 可使用OES技术进行检测的样品包括金属熔液、金属半成品和成品,以及金属加工业、管材、螺栓、棒材、线材、板材等等。 OES使用的电磁光谱包括可见光谱以及部分紫外光谱。波长范围为130nm到约800nm。
海洋光学长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持,同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪,基于光学发射光谱技术,被广泛应用于等离子体监测,并在刻蚀终点检测方面表现出色。为了评估海洋光学光谱仪在等离子体监测应用中的性能,我们进行了一系列测试,使用了海洋...
光学发射光谱OES光学发射光诸(OES)是一种用于检测各种金属元索成分的分析技术。它利用电磁光诺中的可见光诺和部分紫外光诺。通过测量固体金属中从锂到铀的各种元索的特征光诺,进行定性和定量分析。OES技术可以对金属熔液、金属半成品/成品、金属加工业、管材、螺栓、棒材、线材、板材等进行检测。其优点包括准确度高、...
OES,全称OpticalEmissionSpectroscopy,即光学发射光谱分析,是一种基于原子发射光谱原理的先进分析技术。该技术通过测量样品在激发状态下发射出的特征光谱,来确定样品中的元素成分及其含量。 OES检测原理 OES检测的核心原理在于原子发射光谱学。当样品受到能量激发(如电弧、火花、激光等)时,样品中的原子或分子会被激发到高能...