光场匀化器可生成多种光束形状- 平顶、矩形、方形和线形 -- 典型发散角从0.20度到11.21度 均匀性达到技术极限 (不均匀度不超过1%) 高NA、高填充因子和极化保持 光学效率高达 90%,有助于降低高昂的激光能量成本 采用优质材料制成,例如熔融石英、CaF2,适用于多种不同激光源(例如准分子激光器、固态激光器
光场匀化器应用 光场匀化器是一种能让光线分布更均匀的光学器件,在很多地方都有重要作用: 光刻领域:芯片制造过程中,光刻环节需要把设计好的电路图案精确投影到半导体晶圆上。但光刻机发出的光线在强度和分布上可能不均匀,这会导致光刻出来的图案有的地方清晰,有的地方模糊,影响芯片性能和良品率。光场匀化器能把...
这个光场匀化器的原理其实和光的一些特性紧密相关。光呢,它有波动性,这就意味着它在传播的时候会有干涉和衍射现象。光场匀化器就是利用这些现象来让光场均匀的。 比如说,它可以通过一些特殊的光学元件,像透镜组或者衍射光学元件之类的。这些元件会对光进行重新分布,把那些集中的光分散开,把弱的地方的光给加强一下...
光场匀化器是光刻机曝光系统中的核心部件,其作用是将光刻机光源发出的光进行均匀化,以保证光刻机对被曝光的半导体晶圆进行精准的曝光。 炬光科技的光场匀化器具有高精度、高可靠性和低成本等特点,已被国内外多家光刻机厂商采用。公司在光场匀化器领域的市场份额位居国内前列,是国内光刻机产业链的重要支柱企业。
近日,炬光科技股份有限公司(以下简称“炬光科技”)在招股说明书中披露,其光场匀化器产品已成功应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。这一消息无疑为炬光科技在光刻机领域的发展注入了新的活力,同时也为我国光刻机产业的自主创新和发展提供了有力支持。
光场匀化器行业集中度较高,炬光科技为我国龙头企业。炬光科技专注于高功率半导体激光元器件和激光光学元器件的研发、生产及销售,近年来在技术创新推动下,炬光科技生产的光刻用光场匀化器质量不断提升,目前公司产品已远销至日本、荷兰、德国等光刻机生产大国。据炬光科技企业财报显示,2022年上半年公司光场匀化器营收...
格隆汇3月8日丨炬光科技(688167.SH)于2023年2月1日-3月2日通过电话会议、接受机构现场参观时表示，公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器(招股书中“光场匀化器——光刻应用”)，供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。...
2025 年中国晶圆级光场匀化器 行业市场前景预测及投资价值评 估分析报告 博研咨询&市场调研在线网 北京博研智尚信息咨询有限公司2025 年中国晶圆级光场匀化器行业市场前景预测及投资价值评估分析报告 2025 年中国晶圆级光场匀化器行业市场前景预测及投 资价值评估分析报告 正文目录 第一章、晶圆级光场匀化器行业相关...
报告通过研究中国华东、华南、华中、华北地区光场匀化器行业市场现状与发展优劣势,呈现了光场匀化器行业区域市场发展全景,并对各地区光场匀化器市场潜力与前景做出了总结。 光场匀化器市场研究报告共包含以下十五章节,各章节概览如下: 第一章: 光场匀化器行业定义、细分市场、及发展历程、环境及市场规模分析; ...
炬光科技(688167.SH)：目前公司的光场匀化器产能处于充沛状态 来源：港股那点事 格隆汇10月18日丨炬光科技(688167.SH)在互动平台表示，LIMO作为公司的全资子公司，采用晶圆级同步结构化工艺制备微纳光学元器件，在光场匀化器领域拥有卓越的生产能力和技术实力。而今年完成收购的瑞士SMO公司（已更名为瑞士炬光），...