我们运用光刻胶热熔成形的方法,制作了20×20mm的光刻胶折射型微透镜阵列,单元微透镜相对口径为F/2,单元透镜直径90μm,中心间隔100μm.在此基础上,采用微电铸镍的方法进行成形复制技术的研究,获得了表面图形转移质量和基底性能均良好的镍模板.本文详细讨论了电铸成形技术的工艺参数控制,以及所得的电铸镍板图形质量分...
光刻技术(photolithographictechnique) 光刻是将反映半导体器件或集成电路芯片结构设计要求的掩模图形转移到衬底表面上的一种工艺技术。光刻过程一般包括几个步骤,先将衬底表面涂敷一层光致抗蚀剂,然后用紫外线或远紫外线透过掩模对抗蚀剂层曝光,经过化学显影以后,掩模图形就转移到抗蚀剂层上,再以抗蚀剂层为掩模,对其...
LIGA技术主要工艺过程:(1)同步辐射x光,铜掩膜板,PMMA光刻胶,电铸成形,注塑成形,高深宽比结构。 与传统微细加工方法相比,用LIGA技术进行超微 结构的微细加工
百度试题 结果1 题目LIGA技术的工艺过程分为:深层同步辐射X射线光刻;电铸成型;模铸成型。( ) 相关知识点: 试题来源: 解析 正确 反馈 收藏
LIGA技术的第一步骤是()。 LIGA技术的第一步骤是()。 A、通过电铸从光刻胶三维结构上产生金属母模 B、用光刻的方法在光刻胶上刻出微机械或微器件的三维结构 C、用生产用模作大规模复制 D、用母模通过电铸或塑铸方法复制许多金属的或其它材料的生产用模 点击查看答案 第5题 连铸工艺的作业特点是:1()2全...
LIGA技术的工艺过程分为:1.深层同步辐射X射线光刻;2.电铸成型;3.模铸成型A.正确B.错误
LIGA技术是()的缩写。 A光刻 B电铸 C刻蚀 D模铸 如何将EXCEL生成题库手机刷题 > 下载刷刷题APP,拍照搜索答疑 > 手机使用 分享 反馈 收藏 举报 参考答案: ABD 复制 纠错 举一反三 下列哪种调节因子参与补体得正向调节? A. S蛋白 B. D因子 C. P因子 D. DAF E. C8结合蛋白 查看完整题目...
百度试题 结果1 题目LIGA技术是()的缩写。A. 光刻 B. 电铸 C. 刻蚀 D. 模铸 相关知识点: 试题来源: 解析 A,B,D 反馈 收藏
百度试题 结果1 题目LIGA技术是( ) A. 光刻 B. 电铸 C. 刻蚀 D. 模铸 相关知识点: 试题来源: 解析 ABD 反馈 收藏
百度试题 题目LIGA技术主要工艺步骤包括()。 A.MEMS光刻B.注模复制C.X光深度同步辐射光刻D.电铸制模E.MEMS蚀刻相关知识点: 试题来源: 解析 B,C,D 反馈 收藏