本发明属于功能性纳米材料制备技术领域,具体公开一种纳米微球光刻模板的制备方法,首先在衬底上沉积单层六边形紧密堆积的聚苯乙烯微球,微球直径为100nm到10μm;然后用苯乙烯溶液进行旋涂,其中苯乙烯浓度为1~40%,旋涂速度为500~6000r/min;旋涂完成后进行氧等离子刻蚀处理,反应刻蚀的氧分压为5~100%,载气为Ar或N2,刻蚀...
本发明属于功能性纳米材料制备技术领域,具体公开一种纳米微球光刻模板的制备方法,首先在衬底上沉积单层六边形紧密堆积的聚苯乙烯微球,微球直径为100nm到10μm;然后用苯乙烯溶液进行旋涂,其中苯乙烯浓度为1~40%,旋涂速度为500~6000r/min;旋涂完成后进行氧等离子刻蚀处理,反应刻蚀的氧分压为5~100%,载气为Ar或N,刻蚀...