一旦完成计量和检验,检测结果会被反馈至光刻系统。光刻系统是芯片制造中的关键设备,用于将芯片设计图案投影到晶圆表面上。通过将检测结果反馈至光刻系统,可以实现对设备的进一步优化和调整。例如,根据检测结果,可以调整光刻系统的曝光参数、对准精度等,以确保最终的芯片制造过程能够达到更高的精度和稳定性。