对于光刻胶较多的光刻版,浸泡只能将光刻胶泡软,还需要用无尘布或无尘棉蘸丙酮轻轻擦洗,或在光刻版清洗设备中采用毛刷刷洗,通过外力将顽固的光刻胶去除掉。毛刷刷洗基本原理如图 2 所示,光刻版匀速旋转,喷嘴向光刻版表面喷洒丙酮等化学液,使得光刻胶由于溶解而变得松软,然后毛刷接触到光刻板表面,光刻板旋转时与毛刷...
对于光刻胶较多的光刻版,浸泡只能将光刻胶泡软,还需要用无尘布或无尘棉蘸丙酮轻轻擦洗,或在光刻版清洗设备中采用毛刷刷洗,通过外力将顽固的光刻胶去除掉。毛刷刷洗基本原理如图 2 所示,光刻版匀速旋转,喷嘴向光刻版表面喷洒丙酮等化学液,使得光刻胶由于溶解而变得松软,然后毛刷接触到光刻板表面,光刻板旋转时与毛刷...
1.一种光刻板清洗方法,其特征在于,包括以下步骤: 2.根据权利要求1所述的一种光刻板清洗方法,其特征在于,所述的不锈钢反应釜为带有四氟乙烯内衬的圆柱形反应釜。 3.根据权利要求1所述的一种光刻板清洗方法,其特征在于,所述的聚四氟乙烯内衬中混合液清洗剂的体积占聚四氟乙烯内衬容量的25%。 4.根据权利要求1所述...
深圳市瑞格锐思科技有限公司/聚四氟乙烯清洗架/特氟龙清洗花篮/不锈钢掩膜版/光刻玻璃铬版/photo mask/ 光绘聚酯掩膜/PP清洗花篮/PFA清洗花篮/石英清洗花篮/双面铜导电碳胶带/SEM电镜专用耗材/ 电镜样品台/刻蚀花篮/显影花篮/热蒸发掩模板/葡萄糖酸钙软膏/六氟灵紧急洗眼液/
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻板 接触曝光后如何清洗 83 7/2 返回列表 上一页 1 2 查看: 4467 | 回复: 82 只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏 在APP中查看 相关版块跳转 微米和纳米 我要订阅楼主 babyoflion 的主题更新 ...
光刻板清洗的工艺: 在清洗机内清洗时,主要流程是纯水冲洗、毛刷和洗剂清洗、毛刷和纯水清洗、超声波清洗以及氮气干燥,在这清洗的每道工序进行的时候,光刻板都会按照设定的转速一直旋转,以达到可以整面清洗的目的,下面分别介绍主要清洗的工艺。 1.毛刷清洗
氧气 氩气等离子清洗光刻板，会把玻璃表面刻蚀坏吗 发自小木虫IOS客户端
1.光刻板清洗工艺 1.1 光刻胶及其他有机污染物的去除 对于光刻胶及其他有机污染物,比较常见的方法是通过有机溶剂将其溶解的方法将其去除,例如利用丙酮浸泡光亥刻版,在浸泡的同时可以超声提高浸泡效果。对于比较干净的光刻版,浸泡基本就能将有机污染物去除干净。对于光刻胶较多的光刻版,浸泡只能将光刻胶泡软,还需...
一种光刻板清洗方法,包括以下步骤: 步骤1:首先进行40S的丙酮刷洗工艺; 步骤2:丙酮刷洗结束后,进行15s的IPA清洗; 步骤3:30s的DI水清洗; 步骤4: 45s吹干,进行干燥; 步骤5:经承载光刻板的卡盘停止旋转,取走光刻板,置于翻转机构上,将光刻板翻转后,将背面朝上的光刻板取走,并进行背面的清洗,并同时进行第二块光刻板...
光刻板清洗工艺: 对于光刻胶及其他有机污染物,比较常见的方法是通过有机溶剂将其溶解的方法将其去除,例如利用丙酮浸泡光亥刻版,在浸泡的同时可以超声提高浸泡效果。 对于比较干净的光刻板,浸泡基本就能将有机污染物去除干净。对于光刻胶较多的光刻板,浸泡只能将光刻胶泡软,还需要用无尘布或无尘棉蘸丙酮轻轻擦洗,或在...