光刻机的波长和分辨率之间存在着密切的关系。随着波长的缩短,分辨率可以得到提高,从而实现更小尺寸的芯片制造。然而,波长的缩短也会带来一些问题,需要在波长和分辨率之间找到平衡点。光刻机的分辨率还受到其他因素的影响,需要综合考虑各种因素,优化光刻机的参数设置。光刻机技术的不断发展和突破,将为集成电路制造带来更...
我国某企业正在全力研发“浸没式光刻”光刻机。原理是一种通过在光刻胶和投影物镜之间加入浸没液体,从而减小曝光波长,提高分辨率的技术,如图所示。若浸没液体的折射率为1.5,当不加液体时光刻胶的曝光波长为199 nm,则加上液体后,该曝光光波( ) A.在液体中的传播频率变为原来的 ...
“浸没式”光刻机的原理是一种通过在光刻胶和投影物镜之间加入浸没液体,从而减小曝光波长,提高分辨率的技术,如图所示。若浸没液体的折射率为1. 5,当不加液体时(可视为真空)光刻胶的曝光波长为199nm,则加上液体后与不加液体相比,关于该曝光光波下列说法正确的是() ...
波长、频率和波速的关系 题型:单选题-单题 难度:0.85 引用次数:0 题号:24343843 分享 光刻机利用光源发出的紫外线,将精细图投影在硅片上,再经技术处理制成芯片。为提高光刻机投影精细图的能力,在光刻胶和投影物镜之间填充液体,提高分辨率,如图所示。下列说法正确的是( ) A.紫外线由空气进入液体后频率升高 B...
光刻机是生产芯片的核心设备。浸没式光刻技术是在传统的光刻技术中(其镜头与光刻胶之间的介质是空气)将空气介质换成液体,利用光通过液体介质波长缩短来提高分辨率,其缩短的倍率即为液体介质的折射率。如图所示,若浸没液体的折射率为1.44,当不加液体时光刻胶的曝光波长为193nm,则加上液体后,该曝光光波() ...