紫外光刻机显影原理是一种将光刻胶表面的图形显影出来的过程。简单来说,就是利用显影液对光刻胶进行化学反应,使暴露在紫外光下的部分溶解掉而形成图形。显影液的选择与控制显影温度、时间等因素,都会影响光刻胶的显影效果。 二、显影液的作用机理 显影液的主要作用就是通过溶解未暴露在紫外光下的部分光...
光刻机工作原理和组成 光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,不同光刻机的成像比例不同,有5:1,也有4:1。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图(即芯片)。 一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋...
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