投影物镜成像质量泽尼克系数为了在光刻机工作过程中保证投影物镜的成像质量,人们开发了一系列投影物镜像差的现场测量技术.对目前国际上常用的几种高精度投影物镜像差现场测量技术进行了分析和比较.doi:CNKI:SUN:JGDJ.0.2004-06-010CNKI;WanFang激光与光电子学进展王帆,王向朝 ,马明英 等. 光刻机投影物镜像差的现场...