光刻机可以根据不同的标准进行分类。一种常见的分类方式是基于其使用场景和用途，可以将光刻机分为接近接触式、直写式和投影式三大类。1. 接近接触式光刻机通过无限靠近掩模板，复制其上的图案。2. 投影式光刻机采用投影物镜，将掩模板上的结构投影到基片表面。这种光刻机曝光成像的原理与照相机相似，但记录介质...
光刻机可以根据不同的标准进行分类。一种常见的分类方式是基于其使用场景和用途,可以将光刻机分为接近接触式、直写式和投影式三大类。 1. 接近接触式光刻机通过无限靠近掩模板,复制其上的图案。 2. 投影式光刻机采用投影物镜,将掩模板上的结构投影到基片表面。这种光刻机曝光成像的原理与照相机相似,但记录介质...