基于衍射型套刻误差测量套刻误差测量标识为控制而设计散射仪测量随着集成电路尺寸的缩小,先进节点制造工艺套刻精度的标准也更严苛.如何提高套刻的精度变得更具挑战性.不精确的测量结果会扰乱套刻误差管控系统,直接扰乱工艺稳定性,甚至引发良率问题.为了解决此难题,本论文为先进节点制造工艺开发了新型套刻误差测量系统....