本文通过近似于截流蒸气云静止档板技术的设计思想设计修正档板.分析了不同工作电压对薄膜厚度均匀性的影响,以最贴近于理论膜厚分布的一组实验所得的相对膜厚分布结果来设计修正档板,进行理论的设计和实验验证.所设计的修正档板成功地改善了膜厚均匀性,使得半径为200mm内的薄膜厚度均匀性稳定地控制在5‰以内,总体...