1. 压力与温度恢复:低温泵再生过程中,泵内压力、温度等参数会发生变化。在再生完成后,需确保这些参数已恢复至设定范围,以避免插板阀开启时因参数异常导致的设备损坏或泄漏。 2. 杂质清除效果:再生效果直接影响泵的性能恢复。若再生不充分,杂质残留过多,插板阀开启后可能会加剧泵的...
再生通常指的是设备或材料的自我恢复能力,而在低温泵中,我们更多关注的是其制冷效应对气体分子的吸附和排除作用。因此,可以说低温泵抽真空是制冷效应的体现,而非再生机制的运用。 综上所述,低温泵抽真空主要是通过制冷效应实现的。这一过程不仅依赖于低温泵内部的制冷系...
综合以上因素,一般来说,低温泵再生加热温度通常设定在40℃至80℃之间。具体温度应根据泵型、再生介质及环境条件等因素进行综合考虑。在设定温度时,建议遵循厂家建议或先进行小范围试验,以确保再生过程的高效与安全。 此外,还需注意,在加热过程中应保持温度稳定,...
其次,我们亲自组装了低温泵,低温真空泵属于吸附泵,也是气体结合泵,该泵以1500 L/s的速度从磁控溅射系统中吸入氩气。在泵内部,表面被冷却到几开尔文,分子和原子可以像在冰箱里一样凝结在上面。一旦低温泵“满载”,就必须对其进行再生。接着,另一个真空泵开始发挥作用——前置泵。在此过程中,气体通过前置泵释放并泵...
一、低温泵再生周期的影响因素 低温泵在使用过程中,由于受到环境温度、介质种类、使用频率等多种因素的影响,使用寿命也会有所差异,一般来说,低温泵的使用寿命在3-5年左右。但实际再生周期需要结合生产环境和使用条件等具体因素进行评估。 二、低温泵再生方法 1. 蒸馏再生法 低温泵一般使用...
根据加热方式的不同,再生方式通常分为:自然加热再生、 气体冲洗再生、电加热再生三种类型。 自然加热再生是最简单的低温泵再生方法,它是利用泵壁与周围空气的 热交换来使泵升温的,在刚开始再生时,由于泵内真空度较高,因此主要是依 靠泵壁的热辐射和泵内的热传导使冷板逐渐升温,这个升温过程相当缓慢。当 压力升高...
低温泵在使用过程中,由于冷却液的污染或使用寿命到期,会出现压力不稳定、冷却效果下降、运转声音变大等问题,此时需要对低温泵进行再生。 二、低温泵再生步骤 1. 清洗冷却液。首先需要将低温泵内的冷却液进行清洗,去除污垢并更换新的无污染冷却液。 2. 拆卸清洗涡轮。将涡轮拆下,并用清洁剂加热进行清洗,去除上面...
低温泵的再生 低温泵在连续工作一定时间后,冷表面的沉积层变厚,抽速下降,需要再生使其恢复到原来的状态。再生在抽速下降一半时或制冷温度超过20K时进行。再生可以通过停机使其升温自动进行,也可以给低温泵腔内充入干燥氮气或对冷板加热使其加速进行。部分低温泵配有自动再生装置可以方便再生作业。
式。根据加热方式的不同,再生方式通常分为:自然加热再生、气体冲洗再生、 电加热再生三类。 自然加热再生是最简单的低温泵再生方法,它是利用泵壁与周围空气的热交 换来使泵升温的,在刚开始再生时,由于泵内真空度较高,因此主要是依靠泵壁 的热辐射和泵内的热传导使冷板逐渐升温,这个升温过程相当缓慢。当压强升高...
自然加热再生是最简单的低温泵再生方法,它是利用泵壁与周围空气的热交换来使泵升温的,在刚开始再生时,由于泵内真空度较高,因此主要是依靠泵壁的热辐射和泵内的热传导使冷板逐渐升温,这个升温过程相当缓慢。当压力升高到10-1～10 Pa 范围后,对流换热才开始起比较大的作用。自然加热再生需要的时间很长,一般需十几...