摘要 本发明公开了一种光刻胶低温固化厚膜的制备方法。包括:1)在晶圆上涂覆光敏性树脂组合物胶液,匀胶,前烘,得到厚膜;2)曝光;3)显影;4)固化,得到含第一层固化膜的晶圆;5)贴覆干膜:在上述晶圆的第一层固化膜上贴覆干膜作为后续继续匀胶的支撑膜;6)在所述干膜上继续重复步骤1)‑4)匀胶、曝光、显影及...
本文将详细介绍一种低温固化厚膜光刻胶的制备方法与流程。 一、原料准备 首先,我们需要选择适合低温固化的光引发剂和树脂。光引发剂应具有较高的量子产率和低的反应活化能,以确保在低温下仍能有效引发聚合反应。树脂则需具备良好的成膜性,以形成均匀且厚度足够的光刻胶层。 二、配制光刻胶溶液 将选定的树脂溶解...
28、第四方面,本发明提供一种光刻胶组合物的制备方法,包括:按照配比将可低温固化的聚酰亚胺树脂、重氮萘醌磺酸酯、交联剂和热致产酸剂进行混合。 29、本发明具有以下有益效果:本发明实施例制备的聚酰亚胺光刻胶不仅仅可以实现低温固化,且固化后具有耐化性好和残余应力小的优点。同时,该聚酰亚胺树脂形成的光刻胶组合...
本发明公开了一种光刻胶低温固化厚膜的制备方法.包括:1)在晶圆上涂覆光敏性树脂组合物胶液,匀胶,前烘,得到厚膜;2)曝光;3)显影;4)固化,得到含第一层固化膜的晶圆;5)贴覆干膜:在上述晶圆的第一层固化膜上贴覆干膜作为后续继续匀胶的支撑膜;6)在所述干膜上继续重复步骤1)4)匀胶,曝光,显影及固化操作,...
以往需要在高温下进行后烘焙程序,使滤光片进行充分固化.为了在不耐高温的OLED显示器中应用滤光片,因此需要开发出能够在低温下的后烘焙中能够充分固化以显示出良好的粘合性及耐化学品性的光刻胶.论文通过对树脂结构及配方组成等实验因素的摸索,确定了低温固化光刻胶的制备方法,并进行了评价,讨论了各个因素对材料性能...