位移测量干涉仪是一种非接触式的测量仪器,它利用光的干涉原理测量被测物体的位移或形变。它的工作原理可以简单地概括为:将采样光束和参考光束在空间中交汇,根据光程差产生干涉条纹,通过测量干涉条纹的移动,计算出被测物体的位置或形变。 二、光路结构 位移测量干涉仪的光路结构一般包括光源、分束器、反射镜、参...
激光干涉仪测量位移的原理基于干涉现象,利用被测量对象的微小位移引起的光程差变化来确定位移量。一般采用两束光线,经过不同的光程后再干涉,这样可以提高测量的精度和稳定性。 常见的激光干涉仪测量位移的方法包括两束干涉法、多束干涉法和干涉仪与位移传感器的结合等。其中,两束干涉法是最基本的方法,原理...
一,光学干涉仪原理 光学干涉仪是利用光的波动性质进行测量的仪器.简单来说,就是用两束光在待测物体上产生干涉,通过分析干涉图案来测量待测物体的微小位移. 二,光路设计 光学干涉仪的光路设计是关键.一般来说,光学干涉仪的光路分为参考光路和测量光路.参考光路是参照光源,不经过待测物...
浅谈光学干涉仪测量位移的工作原理 2天前 一,总述 光学干涉仪是一种利用光的干涉原理测量物体形态,精度和变形的高精度,高分辨率光学测量仪器.它的基本思想是测量两束光的光程或相位差,从而间接得到被测物体的尺寸或变形量.因此,光学干涉仪的测量精度很高,能够满足微观领域的要求. ...
1 测量原理 迈克耳孙干涉仪利用光波干涉原理，可将动镜的微小位移转换为等厚干涉条纹的移动，通过测出干涉条纹的移动量，达到测量微小位移的目的。而要测出条纹的移动量，首先需要确定条纹间距与像素间隔间的换算关系（称为定度）。为此先用单色光源照明迈克耳孙干涉仪。设，沿垂直于条纹方向的强度分布函数为 其中，x...
(1) 激光干涉仪的工作原理 激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。 (2) 激光干涉仪的组成 激光干涉仪测量系统由激光器、环境补偿装置、光学镜组、三脚架及云台、接口、计算机等组成。 相关知识点: 试题来源: 解析...
图中为角度和位移同时测量的双频干涉仪测量原理图。入射光束为正交偏振光,两偏振光束之间存在一定频差。(A为偏振分光棱镜PBS)。 (1)如果位相测量精度为0.01rad,波长为632.8nm,假设空气折射率为1,位移测量分辨率为___; (2) 如果从上到下光线间隔分别为10mm,20mm,10mm,其他条件同上,角度测量分辨率为___。 A....
白光干涉仪 激光位移传感器 膜厚仪 白光干涉仪 所有产品 白光干涉仪 该产品由膜厚仪主机、上位机 PC 软件、光纤组成。用一束准单色平行光照射多层薄膜, 光波会在第 1 到 n 层之间来回多次折射、反射进而形成多个相干光束。这些相干光束进行相 干叠加后,携带多层薄膜的相干信号并沿原路返回。不同波长的准单色光...
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