电子背散射衍射(EBSD)是一种基于扫描电子显微镜(SEM)的技术,可以对样品的微观组织进行分析、可视化和定量。虽然这种技术最常见的缩写是EBSD,但有时称为“EBSP”(严格意义上讲,这是指电子背散射衍射花样)或“BKD”(背散射菊池衍射)。微观组织是在微观尺度上观察材料的内部结构。对微观组织感兴趣,是因为材料...
该技术也被称为电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction,简称EBSD)或取向成像显微技术(Orientation Imaging Microscopy,简称OIM) 等。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射(给出结晶学的数据)。EBSD改变了以往织构分析的方法,并形成了全新的科学领域,称为“显微...
电子背散射衍射(EBSD)是一种基于扫描电子显微镜(SEM)的技术,可以对样品的微观组织进行分析、可视化和定量。 虽然这种技术最常见的缩写是EBSD,但有时称为“EBSP”(严格意义上讲,这是指电子背散射衍射花样)或“BKD”(背散射菊池衍射)。 本网站主要介绍EBSD的原理,重点介绍使用 EBSD 和相关技术的方法,涵盖EBSD 的主要...
什么是EBSD? 背散射电子衍射仪(EBSD)是扫描电子显微镜(SEM)的附件之一,可提供晶粒取向、晶界类型、再结晶碳化物、显微织构、相鉴别和晶界规格检测等完整的形貌数据。EBSD数据来自样品表面下10-50nm厚的区域,测量时需要将EBSD样品倾斜70°。为防止高表面积阻挡低信号,要求ESD样品表面新鲜、干净、平整、导电性好。 PART...
晶体取向数据是EBSD技术最基本的输出数据,因此,它是测量织构(也称为晶体择优取向)的理想技术。EBSD速度快,并且同时提供空间分辨的信息,因此我们能确定织构在样品中的变化,这使得EBSD技术相比于其他织构分析手段,如XRD或中子衍射更具有优势。但是,EBSD只能提供样品表面的织构测量,除非结合原位...
简单来说,EBSD是一种基于电子背散射现象进行分析的方法。它利用高能电子束在材料表面与晶体原子相互作用时产生的散射信号,并通过对这些信号产生的衍射图样进行检测和分析来获得材料的晶体学信息,诸如晶体取向(crystal orientation)、晶界取向差(grain boundary misorient
EBSD是一种“结晶学”分析系统。 1996年美国TSL(TexSemLaboratories,Inc.)公司推出了TSLOIM系统,空间分辨本领已优于0.2μm,比原理相似的电子通道图样(ECP)提高了一个量级,在0.4秒钟内即能完成一张衍射图样的自动定标工作。英国牛津集团显微分析仪器Link-OPAL公司的EBSD结晶学分析系统,目前已用于Si片上Al连线的取向分...
2. EBSD探测器:用于捕捉反射电子并将其转换为数字图像。 3. 图像处理系统:对探测器捕获的图像进行处理,提取衍射花样,并进行进一步的分析。 4. 样品台:必须精确控制样品的位置和姿态,以确保数据的准确性。 EBSD探测器 EBSD探测器是EBSD系统中的关键部件,它通常由一个高灵敏度的CCD摄像头组成,用于捕捉电子背散射衍...