早期的MOS工艺都属于铝栅PMOS工艺,请写出铝栅工艺的缺点是什么?相关知识点: 试题来源: 解析 Al不能承受高温工艺,所以要先做源漏区,后作栅极。这样就需要两块掩模,一块形成源漏区掺杂窗口,另一块形成栅极。两次光刻不易对齐,容易出现错位,引起沟道中断,无法形成沟道,也就不能形成MOS管。
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