超深亚微米集成电路和微机电系统的膜/基和多层异质膜结构及内导线结构所用材料尺度逐渐由微米级减小到亚微米甚至纳米级,即处于传统宏观与微观范畴之间的介观材料领域,其服役可靠性问题具有持久的挑战性.材料性能的尺度效应,表面和界面效应及异质。