二维过渡金属碳化物和氮化物MXene被公认为在电子和光电器件中具有重要应用潜力。然而,已报道的MXene薄膜的图案化方法难以兼顾效率、分辨率及与主流硅工艺的兼容性。中科院金属所在MXene晶圆级光电探测器研究中获进展。°MXene晶圆级光电探测器研究获进展 ...