用二次电子信号作形貌分析时,可以在检测器收集栅上加以一定大小的正电压(一般为250~500V),来吸引能量较低的二次电子,使它们以弧形路线进入闪烁体,这样在样品表面某些背向检测器或凹坑等部位上逸出的二次电子也能对成像有所贡献,图像层次(景深)增加,细节清楚。下图为背散射电子和二次电子的运动路线以及它们...
二次电子是入射电子与试样中弱束缚价电子产生非弹性散射而发射的电子,一般能量小于50eV,产生深度在试样表面10nm以内。二次电子的产额在很大程度上取决于试样的表面形貌,因此这也是为什么在很多情况下大家把SE图像等同于形貌像。然而,这种说法并不严谨。 二次电子(SE)和其它衬度的关系 二次电子的产额其实和成分也有很...
1、分辨率不同 二次电子的分辨率高,因而可以得到层次清晰,细节清楚的图像,被散射电子是在一个较大的作用体积内被入射电子激发出来的,成像单元较大,因而分辨率较二次电子像低。 2、运动轨迹不同 (1)被散射电子以直线逸出,因而样品背部的电子无法被检测到,成一片阴影,衬度较大,无法分析细节,但可以用来显示原子序数...
电子探针显微分析仪简称电子探针(EPMA),是利用聚焦的高能电子束轰击固态样品表面、激发产生特征X射线和多种电子信号(例如,二次电子、背散射电子、阴极荧光、连续X射线),从而对样品进行微区原位的元素定性、定量分析以及形貌观察,是矿物学、岩石学、地球化学、矿床学、比较行星学和材料科学等研究领域最基础的原位微束微...
根据二次电子图像和或背散射电子图像成像响应差异构建区域生长算法的停止生长模型;在二维平面上分别判断各个像素点与周围像素点的连通性,归并区块完成分析区域孔隙识别;通过构建区域生长算法停止生长的数学模型,提高区域生长算法孔隙识别的精度,实现了扫描电镜页岩孔隙的高精度识别,在区分孔隙和基质方面具有较好的效果,大大...
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SEM扫描电镜的电子通道衬度图像GCCI 扫描电镜利用产生汇聚的电子束,轰击样品,产生各种信号,例如二次电子,背散射电子,吸收电子,X射线等。不同的信号携带有不同的衬度。最常见的衬度有形貌衬度和成分衬度。还有一种在晶体材料中常见的衬度就是电子通道衬度,即ECC(Electron Channeling Contrast,其成像技术简称ECCI,EC...