夏洋 中国科学院微电子研究所 研究员 长期专注于集成电路技术及装备研究，为微电子所仪器设备研发中心创始人，带领研究团队瞄准国家战略需求，突破了多项关键核心技术。他在不断的努力与尝试中攻坚克难，在多项国家重大科技计划项目中承担微电子仪器设备的研发工作，成功开发出原子层沉积系统、浸没式等离子注入机、电感...
夏洋，男，博士生学历，中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室研究员，微电子所仪器设备研发中心创始人，主要研究方向为微电子工艺及 装备。人物经历 留学经历 2004年完成科研政策和管理德国班培训。工作经历 1983-1987年在江西师范大学任教，负责近代物理实验室建设和教学工作。90-94年在北京航空材料研究院工作，...