南京先进激光技术研究院(简称“南京研究院”) 作为中国科学院上海光学精密机械研究所(简称“中科院上海光机所”) 的唯一分所,由中科院上海光机所与南京经济技术开发区管委会双方共建。南京研究院于2014年加盟江苏省产业技术研究院,名称为先进激光技术研究所(简称“激光所”)。南京研究院与激光所合署办公,采取“两块牌子...
1、2021年6月11日,中科院在其官网宣布,中科院上海光学精密机械研究所的信息光学与光电技术实验室提出一种新的快速光学邻近效应修正技术,即“基于虚拟边与双采样率像素化掩摸图形”。这意味着我国光刻机取得重大突破。但是,这到底有多大突破呢?能否解决中芯国际的高端光刻机短缺问题呢?能否让华为解决芯片代工问题呢?2...