作为电子束量测检测领域的先行者、领跑者，东方晶源始终坚持自主研发，不断深化研发投入、加速技术创新步伐，致力于为客户带来更加卓越的产品。日前，东方晶源自主研发的新一代EOS“三箭齐发”，取得突破性成果，成功搭载到旗下电子束缺陷复检设备（DR-SEM）、关键尺寸量测设备（CD-SEM）、电子束缺陷检测设备（EBI），...
金融界2024年10月9日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司取得一项名为“法拉第杯结构及电子束检测设备”的专利，授权公告号CN 221812082 U，申请日期为2024年2月。专利摘要显示，本申请属于电子束检测技术领域，尤其是涉及一种法拉第杯及电子束检测设备。该法拉第杯结构包括杯体，杯体...
值得一提的是，东方晶源近期还发布了ODAS LAMP产品。该产品作为CD-SEM量测设备的配套工具，旨在简化CD-SEM用户的设计版图离线创建和修改过程，并提供对量测结果的review功能和离线再量测能力，从而提高机台利用率。瞄准新需求，持续探索新领域。DR-SEM（电子束缺陷复检设备）是东方晶源近期新拓展的业务领域。据SEMI数...
金融界 2025 年 1 月 31 日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“电子束扫描控制方法、装置以及存储介质”的专利，公开号 CN 119381234 A，申请日期为 2024 年 9 月。专利摘要显示，本申请提供一种电子束扫描控制方法、装置以及存储介质，该方法包括：获取包含行步进...
三大产品线全力升级，东方晶源引领国内电子束量测检测发展 受生成式AI、高性能计算、5G、自动驾驶等新兴应用的强劲需求牵引，芯片制造工艺持续向微缩化方向演进。例如，半导体IP龙头Arm正积极推进3纳米物理设计技术，AI芯片巨头英伟达和AMD的下一代GPU芯片也瞄准3纳米制程，晶圆代工巨头台积电和三星则马不停蹄地攻坚2纳米...
作为国内布局该领域较早的企业，东方晶源在电子束量测检测方面已取得显著进展。其推出的EBI电子束缺陷检测设备，经过三代革新，检测速度较之前提升了3至5倍，有力地推动了国内电子束量测检测技术的发展。同时，东方晶源还成功推出了CD-SEM关键尺寸量测设备，以及DR-SEM电子束缺陷复检设备，进一步巩固了其在电子束量测...
作为布局该领域最早的国内企业之一,东方晶源已先后成功推出电子束缺陷检测设备EBI,关键尺寸量测设备CD-SEM(12英寸和6&8英寸),电子束缺陷复检设备DR-SEM,占据电子束量测检测三大主要细分领域,产品多样化和产品成熟度走在前列。同时,经过持续的迭代研发,三大产品线全力升级、性能指标进一步提升,引领国内电子束量测检测产业...
简而言之，东方晶源的电子束检测专利，采用变步长的方式进行电子束量测设备自动对焦过程中的粗聚焦，使得在进行粗聚焦时所使用的粗聚焦搜索步长更加灵活，最终有效提高了电子束量测设备的自动对焦效率。东方晶源是一家专注于集成电路良率管理的企业，坚持对电子制造技术持续进行创新和研发，在集成电路良率管理方面先后获得...
日前,2023“科创中国”年度会议上,中国科协正式发布了2022年“科创中国”系列榜单。经初评、终评,遴选公示多个环节,东方晶源申报的“电子束硅片图形缺陷检测与关键尺寸量测设备关键技术及应用”项目荣登“科创中国”先导技术榜。 “科创中国”系列榜单由中国科协推出,是“科创中国”建设的一项引领性、标志性工作,着力打造...
东方晶源携三款电子束量测检测设备亮相本次大会,通过展览展示、论坛演讲等形式,向外界展示最新成果,彰显出在该领域的技术实力和卓越的领导力。在东方晶源展台,参观者络绎不绝,与工作人员深入沟通产品细节,洽谈合作商机。 在专题论坛七中,东方晶源资深产品总监带来题为《先进工艺电子束量测设备国产化的机遇和挑战》。演...