2023年，北京工厂增加投产Gas应用顶部安装式的过滤器Gaskleen产线，并新增CMP产线，扩充了产品类别以满足多样化的市场需求。凭借其产品的一致性、可靠性、过程控制和高质量的优势，颇尔的过滤器产品赢得了广大中国客户的信赖。协同颇尔北京工厂和新落成的新加坡工厂，两大制造基地将共同为中国集成电路产业发展提供强有力的...
作为布局该领域最早的国内企业之一,东方晶源已先后成功推出电子束缺陷检测设备EBI,关键尺寸量测设备CD-SEM(12英寸和6&8英寸),电子束缺陷复检设备DR-SEM,占据电子束量测检测三大主要细分领域,产品多样化和产品成熟度走在前列。同时,经过持续的迭代研发,三大产品线全力升级、性能指标进一步提升,引领国内电子束量测检测产业...
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电子束量检测是半导体量检测领域的主要技术类型之一,在半导体制程不断微缩,光学检测对先进工艺图像识别的灵敏度逐渐减弱的情况下,发挥着越来越重要的作用。电子束量检测设备对于检测的精度、可适用性、稳定性、吞吐量等要求很高,其研发和设计非常具有技术挑战性。 作为布局该领域最早的国内企业之一,东方晶源已先后成功推出...