放电参数波动： 放电电压或电流出现周期性或非周期性波动，导致溅射速率和等离子体状态不稳定。放电参数波动曲线图成因： 磁场不稳、气体流量波动、电源控制不稳定、系统震动等都可能引起放电参数波动。参数波动会直接影响薄膜厚度均匀性、成分均匀性和结构均匀性。2.3 解决方案 解决放电不稳定问题，需要从消除不稳定诱因和
二、放电不稳定 2.1 问题定义 磁控溅射放电不稳定是指在溅射过程中,等离子体放电出现异常波动或模式转变,导致溅射过程无法稳定进行,薄膜质量下降的现象。 2.2 不稳定类型与成因 放电不稳定主要包括以下类型: 辉光放电模式转变:正常辉光放电突然转变为弧光放电,表现为放电电压骤降、电流急剧增大、出现明亮弧光和噪声。 成因...
一、电池老化 当电池使用时间过长或存在质量问题时,电池会逐渐老化或损坏,导致放电状态不稳定。此时,需要更换电池。另外,长时间使用充电宝通常会加速电池的老化。 二、充电器故障 使用低质量的充电器、过度使用充电器、未按规定使用充电器等都会导致充电器故障,从而影响放电状态。建议...
一、电池老化 电池老化是导致户外电源放电不稳定的主要原因之一。随着电池使用时间的增长,其性能会逐渐下降,从而影响放电的稳定性。为了解决这个问题,我们可以考虑更换新的电池,以确保电源的稳定输出。 二、接触不良 电源连接处的接触不良也可能导致放电不稳定。在户外环境下,震动和...
二次电子发射系数变化:靶材表面化合物层的形成,会改变靶材的二次电子发射系数,影响等离子体放电特性,可能导致放电模式转变或不稳定。 1.3 中毒表征与诊断 靶中毒的典型表征包括: 溅射速率显著下降:在相同工艺参数下,薄膜沉积速率明显降低,生产效率降低。 工作电压升高或放电功率下降:为了维持恒定电流或功率,需要提高溅射...
磁控溅射放电不稳定是指在溅射过程中,等离子体放电出现异常波动或模式转变,导致溅射过程无法稳定进行,薄膜质量下降的现象。 2.2 不稳定类型与成因 放电不稳定主要包括以下类型: 辉光放电模式转变:正常辉光放电突然转变为弧光放电,表现为放电电压骤降、电流急剧增大、出现明亮弧光和噪声。
解决放电不稳定问题,需要从消除不稳定诱因和优化放电控制两方面入手: 2.3.1 消除不稳定诱因的策略: 清洁真空腔体和电极:定期清洁真空腔体内部和电极表面,去除沉积物、污染物,减少表面放电和二次电子发射不均匀性。 制定清洁周期:根据使用频率和镀膜材料,制定合理的清洁周期。
一、火花放电不稳定的原因 1.电极磨损 火花塞位于汽车发动机的气缸内,其电极需要在高温高压的环境下工作。随着使用时间的增加,电极会被削弱并磨损,从而导致火花能量不足。 2.气缸压力低 如果汽车的气缸压力过低,火花塞将无法产生足够的能量来点燃燃料混合物。这通常与气缸密封不良或活塞...
一、熔接机放电不稳定的原因 1.放电电极损坏:放电电极在使用过程中由于高温和烧结等原因,会出现损坏,导致放电不稳定。 2.电源电压波动:熔接机的电源电压波动大,也会导致放电不稳定。 3.工作介质不纯:工作介质的污染或不纯度过高,也会导致放电不稳定。 4.工作参数设置错误:...
熔接机放电不稳定,往往源于多个关键因素。首先,放电电极的损耗与损坏是常见原因之一,需定期检查并及时更换以确保稳定放电。其次,电源电压的波动也直接影响放电稳定性,因此,维持稳定的电源电压至关重要。再者,工作介质的纯净度同样不可忽视,任何污染或杂质都可能引发放电不稳定,必须保持介质的高纯度。此外,工作参数的设置...