9月10日,上海微电子装备(集团)股份有限公司公开了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利。该专利的申请日期为2023年3月9日,涵盖了极紫外辐射发生装置及其在光刻设备中的应用。 根据公开信息,这项专利申请号为CN202310226636.7,...
上海微电子装备(集团)股份有限公司于9月10日通过天眼查平台公开了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利,该专利的申请号为CN202310226636.7,由王伟伟、付辉等六位杰出工程师共同发明。 本项专利的核心在于其创新的极紫外辐射发生装置设计,该装置通过精密的腔体结构、高效的激光发生器、以及独特的带电粒...
天眼查显示,上海微电子装备(集团)股份有限公司于9月10日披露了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利,申请日期为2023年3月9日,申请号为CN202310226636.7,发明人为王伟伟、付辉、卢嘉玺、张洪博、蔡万...查看全文 相关企业信息 公司名称:上海微电子装备(集团)股份有限公司 法人代表:干频 注册资本:74...
上海微电子公开“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利 - 全球事也于20240914发布在抖音,已经收获了1.9万个喜欢,来抖音,记录美好生活!
导读上海微电子最近申请了一项新专利,听说是针对极紫外光刻设备的技术,这可是半导体行业的“黑科技”!想知道这项技术是如何提升设备性能、延长使用寿命的?而且如果这项技术成功落地,可能会引发整个行业的变革哦,赶紧往下看!上海微电子的专利根据重点信息,我们来分析一下上海微电子的这项技术。该技术的发明旨在提高收集器...
重磅!我国制造EUV光刻机的核心技术获得突破!上海微电子公开“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利#光刻机 #芯片 #科技 尤其需要说明的是该专利申请日期是2023年3月9日,现在有没有已经用于制造EUV光刻机呢?希望不久能公布更大的惊 - 智氪科技于20240913发布在抖音
9月10日,上海微电子装备(集团)股份有限公司公开了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利。该专利的申请日期为2023年3月9日,涵盖了极紫外辐射发生装置及其在光刻设备中的应用。 根据公开信息,这项专利申请号为CN202310226636.7,...
9月10日,上海微电子装备(集团)股份有限公司公开了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利。该专利的申请日期为2023年3月9日,涵盖了极紫外辐射发生装置及其在光刻设备中的应用。 根据公开信息,这项专利申请号为CN202310226636.7,发明人为王伟伟、付辉、卢嘉玺、张洪博、蔡万宠、张子辰。
9月10日,上海微电子装备(集团)股份有限公司公开了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利。该专利的申请日期为2023年3月9日,涵盖了极紫外辐射发生装置及其在光刻设备中的应用。根据公开信息,这项专利申请号为CN202310226636.7,发明人为王伟伟、付辉、...查看全文 相关企业信息 公司名称:上海微电子装备...