三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法 将含有液态氯硅烷和微量液体杂质和微量固体杂质的混合物通入蒸发器,除去固体杂质,气体冷凝为液相依次通入第一精馏塔,第二精馏塔,从第二精馏塔顶分离出物质通入第三精馏塔,塔底釜液通入第五精馏塔;第三精馏塔的塔底釜液通入第四精馏塔;从第四精馏塔顶得到高纯度三氯氢硅产品;...
本发明公开了三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法,步骤为:将含有液态氯硅烷和微量液体杂质和微量固体杂质的混合物通入蒸发器,除去固体杂质,气体冷凝为液相依次通入第一精馏塔,第二精馏塔,从第二精馏塔顶分离出物质通入第三精馏塔,塔底釜液通入第五精馏塔;第三精馏塔的塔底釜液通入第四精馏塔;从第四精馏塔顶得到高...
本发明公开了三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法,步骤为:将含有液态氯硅烷和微量液体杂质和微量固体杂质的混合物通入蒸发器,除去固体杂质,气体冷凝为液相依次通入第一精馏塔,第二精馏塔,从第二精馏塔顶分离出物质通入第三精馏塔,塔底釜液通入第五精馏塔;第三精馏塔的塔底釜液通入第四精馏塔;从第四精馏塔顶得到高...
一种三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法,其特征是包括如下步骤 :将含有液态氯硅 烷和微量液体杂质和微量固体杂质的混合物通入蒸发器,除去固体杂质,得到的气体通 入冷凝器,冷凝为液相通入第一精馏塔,在塔顶操作温度为55~68℃,塔釜的操作温度为 70~82℃,塔顶操作压力为0.16~0.26MPaG,塔釜操作压力为0.21~0.31MPaG,...
本发明提供了一种三氯氢硅,四氯化硅和二氯二氢硅的精馏方法:包括:a)将含有三氯氢硅,四氯化硅和二氯二氢硅以及杂质的原料液通入第一精馏塔中进行精馏,从所述原料液中分离出四氯化硅以及第一部分杂质,b)将所述第一精馏塔的塔顶馏分通入第二精馏塔中进行精馏,从所述第一精馏塔的塔顶馏分中分离二氯二氢硅...
本发明提供了一种三氯氢硅,四氯化硅和二氯二氢硅的精馏方法:包括:a)将含有三氯氢硅,四氯化硅和二氯二氢硅以及杂质的原料液通入第一精馏塔中进行精馏,从所述原料液中分离出四氯化硅以及第一部分杂质,b)将所述第一精馏塔的塔顶馏分通入第二精馏塔中进行精馏,从所述第一精馏塔的塔顶馏分中分离二氯二氢硅...