三氟化硼特种气体存在一定毒性,需要注意安全使用。 一、三氟化硼特种气体的毒性问题 三氟化硼特种气体是一种无色透明气体,常用于化学气相沉积预净化,其主要成分为BF3。三氟化硼气体的毒性主要表现为吸入后对呼吸器官的刺激和损害,长时间暴露会引起头痛、晕眩、乏力、恶心等症状,严...