测量原理:利用麦克尔逊干涉仪测量位移的测量系统如图所示, S为光源,LI为扩束镜,BS为分束镜,M1,M2为反射镜,M1和待测物连在一起,随待测物一起移动。CCD摄像机将接收到的干涉条纹经图像卡送入计算机进行数据处理。 3 激光散斑计量法 激光散斑计量技术是在多学科基础上发展起来的现代光学测量方法,它具有全场、非接...