一种管内加热的石墨烯薄膜制备装置其包括石英管、机箱以及电加热组件,机箱的顶部设有石英管,石英管包括进气端和出气端,进气端连通有供气组件,出气端连通有真空组件;电加热组件包括温度控制组件以及加热元件,加热元件与温度控制组件电连接,加热元件嵌设在石英管中并与石英管形成加热空腔,加热空腔中放置有衬底,供气组件...
一种管内加热的石墨烯薄膜制备装置其包括石英管、机箱以及电加热组件,机箱的顶部设 有石英管,石英管包括进气端和出气端,进气端连通有供气组件,出气端连通有真空组件;电加热组 件包括温度控制组件以及加热元件,加热元件与温度控制组件电连接,加热元件嵌设在石英管中并与 石英管形成加热空腔,加热空腔中放置有衬底,供气...