本发明提供一种石英坩埚及其采用石英坩埚拉制硅单晶的方法,包括气泡复合层,透明层和涂层,涂层包括第一涂层和第二涂层,气泡复合层,透明层,第一涂层与第二涂层从外至内依次设置;在直拉单晶取段复投阶段,投入一定量的碳酸钡,同时控制所述取段复投阶段氩气的流量.本发明的有益效果是使得石英坩埚结构简单,使用方便,...
摘要 本发明提供一种石英坩埚及其采用石英坩埚拉制硅单晶的方法,包括气泡复合层、透明层和涂层,涂层包括第一涂层和第二涂层,气泡复合层、透明层、第一涂层与第二涂层从外至内依次设置;在直拉单晶取段复投阶段,投入一定量的碳酸钡,同时控制所述取段复投阶段氩气的流量。本发明的有益效果是使得石英坩埚结构简单,使用...