一种提高FIBSEM三维重构过程中样品导电性的方法,包括以下步骤:在扫描电子显微镜模式下利用二次电子图像选择样品平坦的区域作为目标区域,利用聚焦离子束在目标区域刻蚀标记字样,并对目标区域进行Pt层沉积获得被Pt保护的目标区域;利用聚焦离子束对被Pt保护的目标区域进行粗切和细切后得到目标样品;利用纳米机械手与目标样品...
6.本发明目的在于提供一种提高fib-sem三维重构过程中样品导电性的方法,该方法利用金属导电网的导电性可将集聚的电子导出,从而减少荷电效应,有效解决图像漂移问题,进而获得清晰的内部截面图像,提高三维重构质量。 7.为实现上述目的,本发明提供一种提高fib-sem三维重构过程中样品导电性的方法,其特征在于,包括以下步骤: ...
一种提高FIB‑SEM三维重构过程中样品导电性的方法,包括以下步骤:在扫描电子显微镜模式下利用二次电子图像选择样品平坦的区域作为目标区域,利用聚焦离子束在目标区域刻蚀标记字样,并对目标区域进行Pt层沉积获得被Pt保护的目标区域;利用聚焦离子束对被Pt保护的目标区域进行粗切和细切后得到目标样品;利用纳米机械手与目标样...