パーティクルセンサ KS-42A/42AF (光散乱方式) 光源 半導体レーザ(波長:830 nm、定格出力:200 mW) 接液部材質 KS-42A:合成石英、PFA KS-42AF:サファイア、PFA 定格流量 10mL/min 設定範囲 0.1μmおよび0.13μm～0.5μm 出荷時(5段階) 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、 ...
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