半導体装置の研究開発、生産、販売・サービス拠点をご紹介します。 ニュース 2024年10月22日 解像度1.0マイクロメートル(L/S)のデジタル露光装置を開発 2024年3月29日 インテルコーポレーションの「2024 EPIC優秀サプライヤー賞」を受賞 ...
ナノクリスタルコートは、ニコンが最先端の半導体露光装置を開発する過程で生み出した、非常に効果的なレンズ反射防止コーティングです。ナノサイズ(1ナノメートルは、1/1,000,000mm)の極めて微細な結晶粒子からなる超低屈折率層を持ち、可視光線(380nm～780nm)の全領域で、多層膜コーティングな...
■ArF、液浸そしてEUVという装置の新時代2003～04年はまさに、半導体製造の革新技術が目覚ましく台頭した時期であった。半導体プロセスの微細化は急速に進んでおり、テクノロジーノードは90nmの時代に突入していた。その90nmプロセスを担っているのが、波長193nmのArF露光装置だ。04年...
・ISO感度は、推奨露光指数 アクティブD-ライティング オート、より強め、強め、標準、弱め、しない オートフォーカス 方式 TTL位相差検出方式:フォーカスポイント39点(うち、クロスタイプセンサー9点)、マルチCAM4800DXオートフォーカスセンサーモジュールで検出、AF補助光(約0.5～3m)...
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