露光装置、アライメントステーション、計測・検査装置をご紹介します。 半導体テクノロジー 急速に小型化、高機能化が進む半導体。その進化を支えるニコンの技術をご紹介します。 国内・海外拠点 半導体装置の研究開発、生産、販売・サービス拠点をご紹介します。
ナノクリスタルコートは、ニコンが最先端の半導体露光装置を開発する過程で生み出した、非常に効果的なレンズ反射防止コーティングです。ナノサイズ(1ナノメートルは、1/1,000,000mm)の極めて微細な結晶粒子からなる超低屈折率層を持ち、可視光線(380nm～780nm)の全領域で、多層膜コーティングな...
■ArF、液浸そしてEUVという装置の新時代2003～04年はまさに、半導体製造の革新技術が目覚ましく台頭した時期であった。半導体プロセスの微細化は急速に進んでおり、テクノロジーノードは90nmの時代に突入していた。その90nmプロセスを担っているのが、波長193nmのArF露光装置だ。04年...