000 700 JIS規格JIS B 9920 ISO規格 ISO 14644-1 (1m3中に含まれる0.1μm以上の微粒子数 個/m3) JIS ISO 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm F.S 209D 相当 クラス1 10 (101) 2 --- クラス2 100 (102) 24 10 4 - クラス3 1,000 (103) 237 102 35 - クラス1 クラス4 10,...