大気圧熱プラズマジェットを用いたシリコン膜のマイクロ秒溶融結晶化と高性能TFT作製応用(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般) 喜欢 0 阅读量: 3 作者: 東,清一郎 摘要: Lateral growth of Si crystalline with a maximum grain size of 〜60μm was ...