a5Lのテドラーバッグに試験片および清浄空気4Lを入れ、さらに(2)で調整した臭気ガスをテドラーバッグ内に濃度が約100ppmとなるように注入し、2時間後のテドラーバッグ内のガス検地管(ガステック社製)を用いて測定した。なお、試験は3回おこなった。 正在翻译,请等待... ...
し かし同時にクリーンルームは,作業者や製品が出入 りし,部材か消費される場所でもあるので,大気の クリーン度に直接関係しない要素も,全体としての 環境の清浄度に大きな影響を与える。 机译:电子工厂的洁净室一直专注于环境的清洁,因为它是产生半休假和FPD的地方。随着板尺寸和生产量的...
1. クリーンユニットシステムプラットフォーム(CUSP)による極限高清浄度ISOクラス-1(マイナス1)の実現:次世代生産インフラ及びトップダウン系-ボトムアップ系接続用プロセスプラットフォームに向けて [J] . 石橋晃 クリ-ンテクノロジ-: クリ-ン化技術の専門誌 . 2008,第5期 机...
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