1. 保护靶材 靶材绑铜背板可以保护靶材,减少靶材在制备过程中的损伤,延长靶材的使用寿命。同时,铜背板本身具有良好的化学稳定性,能够有效防止靶材受到外部化学物质的腐蚀和破坏。 2. 提高材料强度 靶材绑铜背板复合材料的强度通常高于单一材料的强度,这是因为铜背板的加入可以增强材料的机械性能,提高材料的强度和韧性。
铝硅铜靶材背板是用于制造PVD薄膜的重要材料。PVD是物理气相沉积的缩写,是一种制造薄膜的技术,其中铝硅铜靶材背板起到了支撑靶材并传导热量的作用。靶材是薄膜制造的关键部件,它由金属、合金等材料制成,通过靶材上的电极电弧、离子束或磁控溅射等方式,将材料蒸发沉积到背板上,形成所需...
三、增强靶材结构稳定性 铜背板不仅为溅射靶材提供了稳固的支撑,还通过其优异的机械性能增强了靶材的整体结构稳定性。在溅射过程中,靶材会受到高速离子的轰击,而铜背板则能够有效地分散和吸收这些冲击力,保护靶材不受损坏,从而延长靶材的使用寿命。 综上所述,铜...
首先,铜背板作为保护层,显著增强了靶材的耐久性,减少了在制备及使用过程中的损伤,同时,凭借其良好的化学稳定性,有效抵御了外部化学物质的侵蚀。其次,复合材料的整体强度因铜背板的加入而得到提升,增强了材料的机械性能,使得材料更具韧性和耐久性。再者,铜的优异导热性使得复合材料具有更高的热传导率,有助于提升靶材...
延长使用寿命:通过减少热应力和提高热效率,铜背板可以显著延长钼靶材的使用寿命。这种结合方式有助于防止靶材在使用过程中过早磨损或损坏,从而减少更换频率和降低长期成本。 改善机械稳定性:铜背板的添加还增强了靶材的整体机械稳定性。这一点在高速沉积过程中尤为重要,因为它有助于保持靶材的结构完整性,减少由于机械冲...
摘要 本实用新型涉及半导体技术领域,具体为一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板,其对靶材具有良好的保护作用,包括溅射靶材,溅射靶材的底部设置有靶材背板,靶材背板上设置有一圈安装槽,安装槽的内部设置有保护圈,靶材背板上设置有数个连接轴,每个连接轴上均设置有挡片,保护圈的外壁上设置有数个卡槽,保护圈的底部...
二、靶材和背板之间加石墨的作用 在电子材料制备中,靶材与背板之间的热应力是一个常见的问题,特别是在高功率的物理气相沉积(PVD)系统中更为明显。靶材温度提高会导致背板产生一定的膨胀,进而产生靶材和背板之间的热应力,导致靶材出现裂纹、变形等问题,从而影响薄膜电镀质量和稳定性。 加入石墨可以...
延长使用寿命:通过减少热应力和提高热效率,铜背板可以显著延长钼靶材的使用寿命。这种结合方式有助于防止靶材在使用过程中过早磨损或损坏,从而减少更换频率和降低长期成本。 改善机械稳定性:铜背板的添加还增强了靶材的整体机械稳定性。这一点在高速沉积过程中尤为重要,因为它有助于保持靶材的结构完整性,减少由于机械冲...
钼靶材(Mo)是一种由钼制成的特殊金属靶材,主要用于高科技领域。钼这种银白色的金属以其高熔点、良好的导电和导热性能而著称,这些特性使得它在高温或高压环境下依然能保持稳定。因此,钼靶材在半导体制造、薄膜沉积技术、光伏产业及医疗影像设备中发挥着重要作用。简而言之,钼靶材之所以被广泛使用,是因为它的独特性质...