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1.一种掩模板的存储方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S01:将掩模板放入一存储环境中; 步骤S02:对掩模板表面进行紫外光照射; 步骤S03:对存储环境进行气体置换。 2.根据权利要求1所述的掩模板的存储方法,其特征在于,通过在所述存储环境设置紫外光光源产生紫外光,对掩模板表面进行紫外光照射。 3.根据权利要求2所...
1.一种掩模板,其特征在于,包括第一曝光区和第二曝光区,所述第二曝光区位于所述第一曝光区的任意侧;所述第一曝光区设置有用于形成第一功能膜层的第一预设图案,所述第二曝光区设置有用于形成第二功能膜层的第二预设图案,其中,所述第一曝光区与所述第二曝光区在不同时间段工作。 2.如权利要求1所述的掩模板...
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解释什么是暗场掩模板。 本条内容是 模糊搜索免费查看参考答案及解析 本题所属标签:解释以及暗场掩膜版 【如果该结果不符合,请 往下拉 需要的结果可能在下面】 解释亮场掩膜版和暗场掩膜版。 本条内容是 模糊搜索免费查看参考答案及解析 本题所属标签:空间滤波增强一种利用应用模板或者 ...
这个光学系统就像是这个超级高清放大镜,它能够极其细致地观察掩模板的表面。 在实际检测的时候,光线会照在掩模板上,有缺陷的地方和没有缺陷的地方反射或者透射的光就不一样。比如说,像是在一个光滑的冰面上有个小坑,冰面平整的地方和小坑那里的反光肯定不同,我们就能发现这个小坑了。这时候光探测器就能检测到...
1.一种掩模板用基板的制造方法,其特征在于,包含: 准备主表面进行了精密研磨的透光性基板的工序; 测定上述主表面的实测区域内的夹装前主表面形状的形状测定工序; 通过模拟得到将上述透光性基板夹装在曝光装置的掩模载台上时夹装后主表面形状的模拟工序; 将根据上述夹装后主表面形状求得的算出区域内的平坦度为规定...
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