摘要 本实用新型公开了基于微透镜阵列光束整形的激光匀光装置,包括沿入射光束传输方向依次设置的激光器、准直扩束系统、匀光装置、聚焦成像系统,所述激光器用于发射激光光束,激光器的中心波长为193nm,还包括阶梯反射镜,所述阶梯反射镜的斜面上设有n个成阶梯形的反射平面,入射波前通过阶梯反射镜后,被分割成为光程差...
本实用新型公开了基于微透镜阵列光束整形的激光匀光装置,包括沿入射光束传输方向依次设置的激光器,准直扩束系统,匀光装置,聚焦成像系统,所述激光器用于发射激光光束,激光器的中心波长为193nm,还包括阶梯反射镜,所述阶梯反射镜的斜面上设有n个成阶梯形的反射平面,入射波前通过阶梯反射镜后,被分割成为光程差大于相干...