摘要 本发明公开了一种基于光学原理的多轴力传感器,其包括感测件和堆叠在感测件上侧的封盖件。感测件具有中空设置的外围部和设置于外围部中心位置的承载部,承载部与外围部通过多个均匀分布在承载部外周侧的弹性悬梁部与外围部连接,承载部在外力作用下相对外围部发生偏转或移动。封盖件与承载部之间设置检测承载部相对...
本发明公开了一种基于光学原理的多轴力传感器,其包括感测件和堆叠在感测件上侧的封盖件.感测件具有中空设置的外围部和设置于外围部中心位置的承载部,承载部与外围部通过多个均匀分布在承载部外周侧的弹性悬梁部与外围部连接,承载部在外力作用下相对外围部发生偏转或移动.封盖件与承载部之间设置检测承载部相对外围部...
本发明公开了一种基于光学原理的多轴力传感器,其包括感测件和堆叠在感测件上侧的封盖件.感测件具有中空设置的外围部和设置于外围部中心位置的承载部,承载部与外围部通过多个均匀分布在承载部外周侧的弹性悬梁部与外围部连接,承载部在外力作用下相对外围部发生偏转或移动.封盖件与承载部之间设置检测承载部相对外围部...