5：特征X射线：样品内层电子被入射电子激发后，外层电子会向内层跃迁以填补空位，这时就会释放具有特征能量的X射线。当用X射线探测器探测到微区的特征波长，就可以以此来进行元素判定。6：俄歇电子：样品内层电子被入射电子激发后，外层电子会向内层跃迁以填补空位，这时如果不发出X射线，就会把空位层的另一...