随机缺陷 (Random Fault):缺陷随机分布在晶圆表面。 刮痕(Scratch):晶圆表面有线性的刮痕。 近中心缺陷 (Near Center Fault):缺陷靠近晶圆中心但不在中心。 具体的类别数量和每个类别的样本数量取决于转化过程中对原始数据的处理方式。 图像格式 转化后的图像通常是灰度图或彩色图,取决于转化过程中使用的可视化方法...