首先,Poly层对超薄氧化层起保护作用,避免其遭到破坏。其次,对Poly层进行重掺杂形成高低结(n/n+-Si),能够有效降低载流子在背面的复合速率,进一步提高太阳能电池转换效率。重掺杂多晶硅工艺的参数对钝化性能十分关键,过高的扩散温度或者退火温度会使内扩散严重造成iVoc衰减,并且Poly层膜厚的降低也会导致磷原子内扩散到晶...