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软光刻:SU-8烘烤教程(适用于烘胶台) 加热SU-8模具的设备和协议 复制基于PDMS的结构首先需要制造一个SU-8主模,将作为PDMS铸造的模板。在SU-8母版的制作过程中,通常是基于标准光刻工艺,SU-8光刻胶的薄膜必须烘烤几次,如图1所示。 图1:用于制作SU-8主模的光刻标准协议:使用的SU-8薄膜必须至少烘烤两次 事实上...
环氧树脂SU-8 模具( PDMS 芯片模具)利用光刻技术在涂覆SU-8光刻胶的硅片上制备深宽比高的微结构与微零件,可制作厚度在10-500μ,具有一定机械强度的模具,可用于PDMS浇筑。
加热SU-8模具的设备和协议 复制基于PDMS的结构首先需要制造一个SU-8主模,将作为PDMS铸造的模板。在SU-8母版的制作过程中,通常是基于标准光刻工艺,SU-8光刻胶的薄膜必须烘烤几次,如图1所示。 图1:用于制作SU-8主模的光刻标准协议:使用的SU-8薄膜必须至少烘烤两次 ...
SU-8光刻胶模具首页 MEMS加工 微流控加工 半导体材料 设备销售 商城 新闻资讯 关于我们 联系我们 产品中心 | MEMS加工 | 微流控加工 | 半导体材料 关于我们 | 新闻中心 | 联系我们 | 网站地图 联系人:刘经理 联系电话:15995725434 联系地址:苏州市吴中区金枫南路1258 聚图半导体(苏州)有限公司...
百度爱采购为您找到118家最新的su-8电铸模具产品的详细参数、实时报价、行情走势、优质商品批发/供应信息,您还可以免费查询、发布询价信息等。
为了执行PDMS软光刻技术的加工过程,通常您需要用到模板,常规和经常使用的模板一定是环氧树脂SU-8模具。每年都会有许多实验室从事微流控芯片的加工活动,并且有时会使用不好的实验设备或不正确的实验方法。本博文简要介绍如何使用环氧树脂SU-8加工一个PDMS芯片模具的基本知识。 本文中,介绍使用旋涂机来分配/匀涂树脂,...
6、PDMS剥离模具 7、PDMS切割与打孔 8、PDMS键合 如下将会对以上8个步骤做简要的介绍。 1、PDMS复制:硅烷化模具的准备 模具在第一次使用时,您必须使其具有疏水性。对于模具,您可以从一些企业购买或者自己加工。事实上,SU-8模具的硅通常是非常亲水的,因此,PDMS与硅具有良好的亲和力,这种亲和力非常大以至于不太可能...
1、硅烷化模具的准备 2、PDMS和固化剂的比例与混合 3、脱气去除气泡 4、在模具上浇注PDMS 5、PDMS烘烤 6、PDMS剥离模具 7、PDMS切割与打孔 8、PDMS键合 如下将会对以上8个步骤做简要的介绍。 1、PDMS复制:硅烷化模具的准备 模具在第一次使用时,您必须使其具有疏水性。对于模具,您可以从一些企业购买或者自己加...