su8折射率su8折射率 su8是一种常用的光刻胶,在微纳加工和MEMS制造过程中得到广泛应用。该材料具有优异的机械稳定性、耐化学性和光学性能,因此被广泛研究和应用。其中一个重要的光学性能就是其折射率。 折射率是光在物质中传播时的速度比值,是光学材料的重要参数之一。su8的折射率随波长的变化呈现出一定的色散...
SU-8由于其优秀的光学特性(360nm以上的透明度,相对较低的折射率),使其成为光波导和无标记生物传感器发展的理想材料。然而,SU-8的表面是高度疏水的,因此与生物技术中的许多应用不相容。因此修饰SU-8的表面,以增强其润湿性,并允许控制固定化(生物)分子的方法目前已经被开发出来。 实验与讨论 为了获得SU-8表面上的...
但SU - 8胶对金属基底的结合力通常不好 ,因而限制了其深宽比的提高。从SU - 8胶与基底的浸润性、基底表面粗糙度以及基底对近紫外光的折射特性入手 ,对SU - 8胶与基底的结合力进行分析 ,首次指出 :在近紫外光的折射率高的基底与SU - 8胶有很好的结合性。经实验得出经过氧化处理的Ti片与SU - 8胶结合...
有谁知道光刻胶SU-8和NOA63密度折射率？谢谢
层的电磁场值 4.根据权利要求2所述SU‑8胶紫外光背面光刻工艺的二维光强分布模拟方法,其特征 在于,所述步骤5中,SU‑8胶背面入射紫外光的二维光强分布的模拟结果如式(11)所示; 其中,I 为所述二维阵列中坐标(l,m)处光照强度值, 为所述二维阵列中坐标(l, l,m m)处电场 值,n 为光刻胶折射率实部。
在光子能量为8.05keV条件下,透镜的理论透过率从43.3%变化到33.2%。焦斑直径均在微米量级。采用紫外光刻微加工技术,制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜。透镜厚度为224!m。透镜光学性能的测试正在进行中。关键词:抛物形折射透镜;X射线;聚焦;X射线衍射仪;SU-8;紫外光刻中图分类号:O434.1文献标识码:A文章编号:...
SU-8胶作为一种微器件加工胶模,其光刻尺寸精度直接影响到微器件的尺寸精度,因此,对SU-8胶微尺寸的要求也越来越高。本文在给出模拟结果的同时考虑到衍射效应使得侧壁不再垂直,基于丙三醇与光刻胶折射率相近,可以在掩膜版和SU-8胶间隙中添加丙三醇来减少衍射对图形尺寸造成的影响,文章对这一过程进行了模拟,模拟...
三、波导型表面等离子体折射率传感器设计一种基于长程表面等离子体波导的光强检测折射率传感器。器件以硅为衬底,以聚合物SU-8为包层。当LRSPP波沿着金波导传输时,... 姬兰婷 - 吉林大学 被引量: 0发表: 0年 自写入光波导聚合物微透镜阵列的设计与制作 利用聚合物SU-8光刻胶在激光作用下折射率会发生变化的特...
摘要：基于DILL经典曝光模型，对其分别在深度轴和时间轴上进行扩展：在深度轴上，以基尔霍夫衍射公式为基础，引入复折射率，利用光束传输法的思想计算了某曝光时刻下胶体内部的光场分布；在时间轴上，分析SU8光刻胶的特点及曝光反应过程，建立合适的光交联反应动力学模型，计算不同曝光时刻下的光场分布。通过整个曝光...